1.洽談
2.實地勘查及選定土地。
3.申請公司名稱及營業項目預查。
4.向管理處（分處）租用公有土地或購買公有廠房者繳預約金（金額為廠房面積售價5%或6個月土地租金）。
5.提出20份
6.申請書經審核後，如：
(1)核准：於土地租約簽訂後預約金無息退還，逾期未簽約，則所繳預約金解繳國庫，不得請求返還
(2)不准：無息退還預約金。
7.申請
8. 按核配面積 承租土地前，應以6個月土地租金總額設定作為履約保證。
9. 取得廠地使用及建築許可文件（含土地租賃契約、建築物購買或租用證明）；如係租地自建廠房，程序如下：：
（1）簽土地租賃契約書。
（2）簽「新建建築物契約書」。
（3）申請建築及景觀預審。
（2）申請建造執照。
（3）申請使用執照。
10.申請公司登記。
11.申請核發開工許可函：
（1）建築物、機器設備、勞動條件、環保及消防等相關核准文件均已符合規定。
（2）檢送平面配置圖1份及機器設備明細表1份。
12.加入有關同業公會。
13. 向稅捐主管機關辦理稅籍登記相關事宜；有從事物品製造加工業者，申請工廠登記；申請出進口廠商登記。
14. 區內事業營運模式如屬產製、買賣保稅貨品者，應依規定向海關申請監管；如係完全生產非保稅品者，應於營運前向管理處（分處）申請備查。
